La pompa per vuoto ausiliaria Inpower viene spesso utilizzata insieme ad altri tipi di pompe per vuoto, come pompe rotative a palette o pompe a tenuta d'olio, per creare un sistema per vuoto più potente e affidabile per i processi industriali.
Modello:R30/70/150/300/400/600/900/1200/2500/5000/10000
Vuoto massimo: minore o uguale a 0.01Pa
VELOCITÀ 50Hz: 30-10000 L/s
VELOCITÀ 60Hz: 36-12000 L/s
Parametro tecnico:
|
Modello |
R30 |
R70 |
R150 |
R300 |
R600 |
R1200 |
R2500 |
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|
Velocità di pompaggio (50 Hz) |
L/s |
41 |
83 |
166 |
360 |
600 |
1200 |
2500 |
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|
Vuoto estremo (50 Hz) |
papà |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
||
|
Pressione differenziale massima |
papà |
6700 |
6700 |
6700 |
5500 |
5500 |
4000 |
4000 |
||
|
Differenza di pressione della valvola di troppo pieno (opzionale) |
papà |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
||
|
Potenza (50 Hz) |
Chilogrammi |
1.1 |
1.1 |
2.2 |
4 |
7.5 |
11 |
18.5 |
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|
Velocità di potenza (50 Hz) |
giri al minuto |
1440 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
||
|
Collegare |
Diametro di ingresso |
millimetro |
80 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
320 |
|
|
Diametro di uscita |
millimetro |
80 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
320 |
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|
Metodo di raffreddamento |
Aria/Acqua |
Aria |
Aria |
Acqua |
Acqua |
Acqua |
Acqua |
Acqua |
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|
Peso |
Kg |
80 |
110 |
200 |
270 |
580 |
780 |
1400 |
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Requisiti facoltativi |
Le opzioni opzionali includono frequenza variabile,anticorrosione, antideflagrante, ecc. secondo i requisiti |
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Caratteristica:
Ruolo di supporto: la pompa per vuoto Roots ausiliaria funziona insieme alla pompa Roots principale per creare e mantenere il livello di vuoto desiderato nel sistema. Aiuta a evacuare le molecole di gas che vengono scaricate dalla pompa Roots, garantendo un funzionamento efficiente.
Funzionamento a tenuta d'olio o a secco: a seconda del modello specifico, le pompe per vuoto Roots ausiliarie possono funzionare utilizzando meccanismi a tenuta d'olio o come pompe a secco. Le pompe a tenuta d'olio offrono una tenuta e una lubrificazione efficaci, mentre le pompe a secco eliminano il rischio di contaminazione da olio nei processi sensibili.
Design compatto: le pompe per vuoto Roots ausiliarie sono spesso compatte e leggere, il che le rende facili da installare e integrare nei sistemi per vuoto esistenti. Le loro dimensioni compatte consentono flessibilità nel layout e nella configurazione del sistema.
Affidabilità:
Proprio come la pompa principale Roots, le pompe per vuoto Roots ausiliarie sono progettate per affidabilità e durata. Sono costruite per resistere al funzionamento continuo e fornire prestazioni costanti per periodi prolungati.
Applicazione della pompa per vuoto ausiliaria Inpower:
Rivestimento sotto vuoto: le pompe Roots multistadio sono ampiamente utilizzate nei processi di rivestimento sotto vuoto, come la deposizione fisica da vapore (PVD) e la deposizione chimica da vapore (CVD), per depositare film sottili su substrati con precisione e uniformità.
Produzione di semiconduttori: negli impianti di fabbricazione di semiconduttori, le pompe Roots multistadio svolgono un ruolo fondamentale nel creare e mantenere le condizioni di vuoto ultra elevato richieste per processi quali l'impianto ionico, l'incisione al plasma e l'ispezione dei wafer.
Strumenti analitici: strumenti analitici ad alte prestazioni come spettrometri di massa, microscopi elettronici e strumenti di analisi delle superfici traggono vantaggio dall'uso di pompe Roots multistadio per raggiungere le basse pressioni di base necessarie per misurazioni e analisi accurate.
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